▍应用领域
- 显示行业
LCD显示面板
触控显示面板
Mini LED / Micro LED 面板
- 光电行业
光学元件
光学滤光片
光电传感器器件
- 玻璃行业
触控面板玻璃
盖板玻璃
光学玻璃基板
▍设备特性
1.高均匀性显影工艺
浸泡式显影方式可实现显影液与基板表面充分接触,提高显影均匀性与图形稳定性。
2.稳定的批量生产能力
设备结构稳定,工艺重复性高,适用于连续生产环境。
3.自动化工艺控制
PLC控制系统结合触摸屏操作界面,可实现多配方工艺管理。
4.模块化设备设计
模块化设备结构便于维护、升级及工艺扩展。
5.多种基板兼容能力
可兼容玻璃基板等多种平板材料。
▍技术规格
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项目 |
参数 |
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基板尺寸 |
可根据客户需求定制 |
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基板厚度 |
0.2 – 3 mm(可定制) |
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显影方式 |
浸泡式显影(Immersion Development) |
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显影液类型 |
TMAH及其他碱性显影液 |
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显影液容量 |
10 – 50 L(可定制) |
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清洗方式 |
DI水冲洗 |
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干燥方式 |
氮气吹干(N₂ Blow Dry)或热风干燥 |
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控制系统 |
PLC + 触摸屏操作界面 |
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工艺控制 |
显影时间 / 温度可调,支持多配方管理 |
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生产能力 |
研发及批量生产 |
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设备结构 |
模块化设计,便于维护与升级 |
产品详情