▍应用领域
LT220-RF作为一种精密干法清洗设备,应用于半导体、厚膜电路、 PCB 制程、元器件封装前、COG 前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
▍特性规格
LT220-RF真空等离子清洗机(Plasma cleaner),就是用等离子体通过化学或物理作用时对工件表面 进行处理,实现分子水平的污渍、沾污去除,并提高表面活性的工艺。但是常 规等离子体清洗过程中,待清洗的工件处于等离子体离化区域中,清洗过程中 伴随着物理清洗过程,等离子体中电子、离子等高能活性离子对材料表面会产生很大的损伤和热效应,造成对半导体晶片、基板的损伤。
控制系统由触摸屏和PLC控制模式,实时显示设备运行过程中各工艺功能执行情况。可实现完全自由的配方编辑,自由修改、编辑、存储、及调用工艺配方等。
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